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電子行業凈化工程

2016-05-26 11:58:06 作者：admin 出處：科瓦特

電子行業凈化工程簡介

凈化工程的應用主要分為兩大領域，其中在工業方面的應用領域以電子工業，精密工業為典型代表，

主要以無生命的微粒作為控制對象，控制無生命微粒對工作對象的污染，內部保持一定正壓，防止污染

擴散。我們在電子行業的稱呼也一般叫無塵車間，潔凈車間，凈化廠房，潔凈室，無塵室……。

潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控，照度、潔凈室截面風速按設計或

規范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易

產生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50

-60%之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規定）。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產

車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分，由于電子產品在制

造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對

其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。

電子行業凈化工程

電子行業凈化工程

電子廠房凈化工程圖

電子制造凈化工程標準：

1、電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級（空態）：不應大于65dB(A)。

2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局

部單向流了。

3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓

差不應小于5Pa。

4 、電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值。

5、補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6 、保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。電子制造行業潔凈室凈化空調系統加熱

器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區，

新風系統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量，應取下面三項最大值。

7、保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量。

8、根據熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量。

9、向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量。

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